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日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1674次

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 一、產品簡介

        CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒，增強了葉片強度、減輕了轉子重量，縮短了啟動時間，降低了機械損耗，增加了使用壽命。

 

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數曲圖

        

 

 

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-3600

進氣口法蘭

—


LF400

排氣口法蘭

—

LF100

抽氣速率

L/s

3600

壓縮比N2/H2

—

1×108/5×102

極限壓強

Pa

2×10-6

電機轉速

rpm

12600

啟動時間

min

＜10

停機時間

min

＜20

振動值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

30-70

冷卻水溫度

℃

≤25

泵體烘烤溫度

℃

<120

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

—

垂直±5°

重量

kg

～100

聯
系
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