日本ULVAC NB100A/NB300A羅茨泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1311次

羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計(jì)的。

特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)轉(zhuǎn)
選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級的電機(jī)，即可實(shí)現(xiàn)在高吸入壓強(qiáng)下的運(yùn)轉(zhuǎn)。

用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備

機(jī) 型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
項(xiàng) 目
抽氣速率*3 m3/h（L/min）		50Hz	95(1580)	280(4670)	500(8330)	1000(16667)
		60Hz	115(1920)	330(5500)	600(10000)	1200(20000)
zui大吸入壓力 Pa (連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時)		50Hz	1.3×103	1.2×103	1.3×103
		60Hz	1.3×103	9.3×102	1.1×103
zui大允許壓力差 Pa (排出壓力-吸入壓力)		50Hz	8.0×103	4.0×103	7.3×103
		60Hz	6.7×103	3.3×103	6.0×103
極限壓力 Pa*1			4.0×10‐1			6.7×10‐1
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
電機(jī)	kW (極) 2 4		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7(2)
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使用油			ULVOIL® R-4
所需油量 L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷卻水量 L/min*6			空冷	2 *5	2	3
進(jìn)水壓力 MPa			－		0.3
進(jìn)出水壓差 MPa			－	0.05	0.1
重量 kg			24	49	77.5	110
吸氣口徑 (JIS B 2290)			相當(dāng) VG50	相當(dāng) VG80	相當(dāng)VG80	相當(dāng)VG100
排氣口徑 (JIS B 2290)			相當(dāng)VF50	相當(dāng)VF80	相當(dāng)VF80	相當(dāng)VF80

*1 用皮拉尼真空計(jì)測量的值，如用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。

*2 電源為AC380V、50Hz、三相。

*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標(biāo)準(zhǔn)泵的組合的數(shù)據(jù)。

*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機(jī)。

*5 對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進(jìn)行連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)必須用水冷。

*6 冷卻水溫為5～30℃。

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